Az Ablációs csoporthoz kapcsolódó műszerpark
LLG-TWINAMP duplacsöves excimer lézer
TopoMetrix 2000 és PSIA XE-100 típusú atomi erő mikroszkóp
Woollam M-2000F spektroszkópos ellipszométer
DEKTAK 8 típusú profilométer
A műszerek megvásárlását támogatta az OTKA, az OM és a GVOP.