Pásztázó elektronmikroszkóp (SEM)

A vékonyrétegek felszínének elterjedt mikroszkópiai vizsgálati módszere a pásztázó elektronmikroszkópia. A fókuszált elektronsugár pásztázásán alapuló képalkotási technika ma már ultranagy nagyításokat és nanométeres feloldást tesz lehetővé, ami kifejezetten alkalmassá teszi akár az ~5 nm-es struktúrák megfigyelésére is.

A1.11.D23

[Ábraforrás: https://www.asu.edu/courses/phs208/patternsbb/PiN/rdg/elmicr/elmicr.shtml]

 

Pásztázó elektronmikroszkóp - videó

 

 

Forrás: Youtube